10),又摸了摸手中冰凉的石英样品,一咬牙,脸上的皱纹都绷紧了:“石厂长,只要给俺时间,给俺找最好的研磨料,俺老钱……豁出这双眼,也把它磨出来。”石毅用力拍了拍他的肩膀,木棍随即移向光学系统中的另一个关键部件一一掩膜板固定架和晶圆承片台。“这里,是“照相’时放“底片’(掩膜板)和“相纸’(涂胶晶圆)的地方。精度要求,是这台机器成败的另一个命门。”他的木棍指向图纸上标注着“±0.5 um对准精度”和“平面度<1 um”的位置。“0.5微米?一根头发丝的百分之一?”陈工失声叫道,旁边的赵红军和孙铁蛋脸色更白了。“对,就是一根头发丝的百分之一。”石毅的声音很是严肃,“图案从掩膜板转移到晶圆上,两层必须严丝合缝,错开一丝,整个电路就废了。
这要求承片台和掩膜板支架在移动、定位时,必须像最精密的钟表,像最稳定的磐石。”他的木棍指向图纸上复杂的丝杠、导轨、弹簧消隙结构、手动微调旋钮的设计图。“这些结构,就是保证“磐石’不动的筋骨。
红军师傅,铁蛋师傅,你们要做的,就是用最好的钢料,用你们那精炼的手上功夫,把这些零件分毫不差地加工出来,装配起来。每一刀车下去,每一锉磨出来,心里都得想着那根头发丝的百分之一。”赵红军和孙铁蛋对视一眼,都看到了对方眼中燃烧的火苗和沉重的压力。赵红军猛地一拍胸脯:“厂长,俺们的手艺是厂里练出来的,是给枪炮零件较过劲的
精度就是战士的命这活,俺们接了。做不好,不用厂长开口,俺们自己把吃饭的家伙什砸了。”石毅的目光扫过一张张或激动、或凝重、或决然的面孔,最后落在那叠厚重的图纸上。
“同志们,”他的声音低沉而有力,“图纸就在这里。它不是天书,是路标。它告诉我们目标在哪里,也告诉了我们路上有哪些沟坎。
我们要做的,就是集合我们所有的智慧、经验和……这双手。”他猛地举起自己的右手,骨节分明,“用最笨的办法,最实的功夫,把这条路,从图纸上,一寸一寸地,凿出来。
这台机器,就是我们在这片硅基荒漠上,打出的第一口井。我们要让世界知道,中国人,能用自己的手,造出最精密的“眼睛’!”
“干!”
“豁出去了!”
“拼了!”
仓库里,众人压抑已久的决心和热血被瞬间点燃,汇成一片低沉的吼声,盖过了窗外的雨声。光刻机工坊的战斗,在一种近乎悲壮的激情中打响了。图纸被小心翼翼地按部件拆解、复制,分发到各个负责人手中。
巨大的仓库被划分成不同的区域:重型铸造区堆满了等待浇注的砂型和通红的铁水。
精密机加区,赵红军和孙铁蛋带着挑选出的精兵强将,围着几台厂里最好的(但在图纸要求面前仍显力不从心)车床、铣床、磨床,全神贯注,每一次进刀都屏住呼吸,每一次测量都反复核对,锉刀和刮刀在零件表面发出令人牙酸的细微声响。
在相对安静的光学区一角,钱师傅带着两个年轻徒弟,搭起了一个简陋的隔音防尘棚,里面点着昏暗的灯光。
巨大的铸铁研磨盘缓缓旋转,上面覆盖着不同目数的金刚砂。钱师傅佝偻着腰,双眼因为长时间极度专注而布满血丝,双手稳稳地控制着一块被沥青粘在磨具上的石英透镜毛坯,进行着极其缓慢的粗磨、细磨、精磨……
研磨液混合着金刚砂的刺鼻气味弥漫在小小的空间里。检测用的样板规和简易干涉仪摆在一旁,每一次阶段性检测都如同一次审判。
石毅的身影几乎钉在了工坊。他不再仅仅是讲解者,更是最忙碌的协调者、最苛刻的质检员、随时出现的救火队员。
哪里遇到了卡点,哪里出现了加工偏差,他立刻就会出现,或是翻看图纸寻找替代方案,或是亲自上手示范一个关键操作,或是用更形象的方式再次讲解某个结构的原理和为何精度如此重要。
“陈工,这个铸铁基座的内部加强筋,图纸要求是“工’字型截面,为什么做成了简单的“一’字型?”石毅的声音不高,却让负责铸造区的陈工额头瞬间冒汗。
“厂……厂长,工字型砂芯太难做了,强度怕不够,一浇就断……我们想着,加厚一点,效果可能………
“可能?”石毅打断他,指着图纸上的应力分析示意图,“基座是整个机器的根基,它要抵抗各种微小的震动,保证上面精密的光学系统和承片台稳如泰山。
工字型截面在同等重量下,抗弯扭能力是简单加厚的数倍,震动传递过去,上面0.5微米的对准精度就是笑话。
重做!砂芯强度不够?想办法!用铁丝网加固芯骨,用更好的粘结剂,必须严格按照图纸来。”在精密装配区,孙铁蛋正带着人安装样品台的滑动导轨。几根加工好的精密导轨和滑块被擦拭得一尘不染。
装配要求是滑块在导轨上滑动时,手感必须顺滑均匀,无任何卡滞或间隙感。孙铁蛋屏住呼吸,小心翼翼地将滑块推入导轨槽。
“嗤……”一声极其轻微,几乎难以察觉的摩擦声响起。旁边负责记录的年轻技术员刚